[发明专利]热盘温度均匀性的测试方法及测试装置有效

专利信息
申请号: 201210471855.3 申请日: 2012-11-20
公开(公告)号: CN103837249A 公开(公告)日: 2014-06-04
发明(设计)人: 唐心权;冷志高;王世明;沙雷 申请(专利权)人: 深南电路有限公司
主分类号: G01K1/16 分类号: G01K1/16
代理公司: 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 代理人: 唐华明
地址: 518000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种热盘温度均匀性的测试方法,包括:在第一热盘与用于感应温度的测温片之间设置用于延缓热量传导速度的第一缓冲材料;将温度感应线固定于测温片的至少两个测温区域上;通过温度感应线检测至少两个测温区域的温度。本发明通过在热盘与测温片之间放置用于延缓热量传导速度的缓冲材料,以延缓热盘向测温片传递热量的速度,使得所要采集的测温片上各测温区域的温度差异扩大,从而更精确的检测热压机热盘的温度均匀性。
搜索关键词: 温度 均匀 测试 方法 装置
【主权项】:
一种热盘温度均匀性的测试方法,其特征在于,包括:在第一热盘与用于感应温度的测温片之间设置用于延缓热量传导速度的第一缓冲材料;将所述温度感应线固定于所述测温片的至少两个测温区域上;通过所述温度感应线检测所述至少两个测温区域的温度。
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