[发明专利]一种显影液喷涂轨道机及其喷涂方法在审
| 申请号： | 201210476923.5 | 申请日： | 2012-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN102937779A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 袁伟 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;B05C5/00;B05C11/00;B05D1/02 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种显影液喷涂轨道机及其喷涂方法。所述显影液喷涂轨道机包括至少两个互不交叠的显影槽、以及设置在显影槽上方的显影液喷涂装置，所述显影液喷涂装置包括喷嘴、与喷嘴连接的用于输送显影液的管路、固定喷嘴的机械臂，以及控制喷嘴和机械臂动作的控制单元，所述控制单元还包括定位模块，所述定位模块控制所述显影液喷涂装置在所述互不交叠的显影槽之间移动，并交替定位于其中一个显影槽中，进行显影液喷涂工艺本发明可以降低成本、改善硅片良率、减少显影液浪费、提高硅片之间线宽均齐度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 喷涂 轨道 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种显影液喷涂轨道机，包括至少两个互不交叠的显影槽、以及设置在显影槽上方的显影液喷涂装置，所述显影液喷涂装置包括喷嘴、与喷嘴连接的用于输送显影液的管路、固定喷嘴的机械臂，以及控制喷嘴和机械臂动作的控制单元，其特征在于：所述控制单元还包括定位模块，所述定位模块控制所述显影液喷涂装置在所述互不交叠的显影槽之间移动，并交替定位于其中一个显影槽中，进行显影液喷涂工艺。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海集成电路研发中心有限公司，未经上海集成电路研发中心有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210476923.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：舞动美感展示器
- 下一篇：呋喃树脂液料控制系统
