[发明专利]二自由度平动并联高带宽微动平台有效
申请号: | 201210477575.3 | 申请日: | 2012-11-22 |
公开(公告)号: | CN102962683A | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 李春霞;朱利民;谷国迎;杨梅菊;赖磊捷 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | B23Q1/44 | 分类号: | B23Q1/44;G12B5/00 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 胡晶 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种二自由度平动并联高带宽微动平台,基于压电陶瓷驱动器和柔性铰链的微动平台,包括:压电陶瓷驱动器、微动平台主体、传感器夹具、非接触式电容传感器,微动平台主体包括驱动支链及其对应的辅助支链、工作平台以及固定机架,其中,两个驱动支链与其对应的辅助支链两两对称分布在工作平台四周。本发明采用双平行四杆结构及对称约束结构,使其寄生位移及累积误差减少。微动平台改进了铰链结构,在一级驱动支链中间加入矩形模块,大大提高了结构刚度,使系统具有高固有频率,从而实现微动平台的二维高带宽平动特性。 | ||
搜索关键词: | 自由度 平动 并联 带宽 微动 平台 | ||
【主权项】:
一种二自由度平动并联高带宽微动平台,包括微动平台主体、安装在微动平台主体上的压电陶瓷驱动器和传感器夹具,安装在传感器夹具上的非接触式电容传感器,其特征在于,所述微动平台主体包括工作平台、固定机架以及对称分布于工作平台四周两个相互垂直的X、Y方向上的两级驱动支链及其对应的两级辅助支链,所述驱动支链及其对应的辅助支链相向分布。
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