[发明专利]球形气动找平机构

摘要

一种球形气动找平机构，包括支座与上板。支座的球形凹面上均布若干个出气口，出气口上固接与球形凹面一致的带有节流孔的节流盖。节流孔气流出口端处在支座与上板之间处，入口端处在支座内部通气道出口处。一个节流盖对应一条支座通气道。通气道汇总后既与压缩空气源相通又与真空源相通。上板的吸盘以及承片台的环形槽均与真空气源相通。支座与上板之间通入压缩空气形成气膜将上板浮起。上板真空吸附承片台，承片台真空吸附基片。上板被气膜浮起后可容易的进行基片找平且找平力还很小；上板和支座的摩损小，增大了两者的使用寿命。压缩空气切换成真空，上板连同基片被锁紧，基片不会产生X、Y方向的位移，减少了基片的损坏率。

主权项

一种球形气动找平机构，包括互为呈球形结构且上板2坐落在支座1球形凹面中的支座1与上板2，其特征在于：所述支座1的球形凹面上均布对称设有若干个出气口1’，所述每个出气口1’上均通过螺钉固接一个与支座1球形凹面一致的节流盖3，所述节流盖3与支座1结合部之间设有密封胶圈5，所述节流盖3上设有节流孔，所述节流盖3的节流孔外侧出口端处在所述支座1与上板2之间形成的空间处，内侧入口端处在支座1内部设有的支座通气道出口处，所述一个节流盖3对应一条支座通气道，所述支座1外部设有一个支座进气嘴10，所述若干条支座通气道的进气端汇总与所述支座进气嘴10连通，所述支座进气嘴10与气动系统的调速阀13的出口连接，所述调速阀13的进口通过串联的两个电磁阀16既与真空泵15管路连接，又通过减压阀19与压缩空气泵14管路连接，所述节流盖3与所述支座1之间形成的空间经过支座进气嘴10通过两个电磁阀16或者与压缩空气泵14连通或者与真空泵15连通；所述上板2四个角部各设有一个吸盘4，所述每个吸盘4的气孔下面均与设置在上板2内部的一条上板通气道连通，四个上板通气道的进口汇总与设置在上板2上的上板进气嘴11连通，所述上板进气嘴11通过一个电磁阀17与真空泵15管路连接，所述上板2上面置有一个平板状承片台6，所述承片台6上开有若干同心圆的环形槽，每个所述环形槽均互为联通，所述互为联通的环形槽下面通过承片台6内部设置的承片台通气道与安装在所述承片台6上的承片台进气嘴12连通，所述承片台进气嘴12通过一个电磁阀18与真空泵15管路连接。