[发明专利]一种硅片缓冲装载装置有效
| 申请号： | 201210479223.1 | 申请日： | 2012-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN103217130A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 吴文镜;李国光;赵江艳 | 申请（专利权）人： | 北京智朗芯光科技有限公司;中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B11/24;G01N21/47 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100191 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片缓冲装载装置，属于硅片样品光学测量技术领域。该装置包括硅片样品台和吸盘，吸盘与硅片样品台相配合，硅片样品台具有底座，还包括缓冲机构，缓冲机构连接于底座，缓冲机构包括接触平台和升降机构，接触平台固定连接于升降机构，接触平台在升降机构的带动下升降。该装置在对硅片样品进行装载时，机械手与硅片样品台能够实现任意装载，并且，装载过程简单、装载稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 缓冲 装载 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片缓冲装载装置，包括硅片样品台和吸盘，所述吸盘与所述硅片样品台相配合，所述硅片样品台具有底座，其特征在于，还包括缓冲机构，所述缓冲机构连接于所述底座，所述缓冲机构包括接触平台和升降机构，所述接触平台固定连接于所述升降机构，所述接触平台在所述升降机构的带动下升降。
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