[发明专利]一种光刻设备中超高压汞灯的启动电流限制电路

摘要

本发明涉及一种光刻设备中超高压汞灯的启动电流限制电路，包括检测超高压汞灯电流信号的电流传感器、电流基准信号电路、滞回比较器、三极管开关电路及输入端经三极管开关电路与滞回比较器输出端连接的脉宽控制器；滞回比较器通过将电流传感器采样的超高压汞灯电流信号电平与电流基准信号电路设定的基准信号电平相比较，控制三极管开关电路导通或截止来控制脉宽控制器同相输入端电平下拉或恢复，控制超高压汞灯启动电流在一安全范围。本发明能可靠控制超高压汞灯启动冲击电流在一安全范围，并且启动电流可通过电流基准信号电路设定，超高压汞灯从启动到进入稳定状态，过渡过程平稳，保证超高压汞灯能够安全启动，保证了光刻设备可靠性。

主权项

一种光刻设备中超高压汞灯的启动电流限制电路，其特征在于，包括用于检测超高压汞灯电流信号的电流传感器、电流基准信号电路、滞回比较器、三极管开关电路以及输入端经所述三极管开关电路与所述滞回比较器输出端连接，并用于接收功率控制电路输出的功率控制信号以及功率基准电路输出的功率基准信号后输出控制信号至驱动电路的脉宽控制器；所述电流传感器输出端接所述滞回比较器信号输入端；所述电流基准信号电路输出端接所述滞回比较器基准输入端；所述滞回比较器通过将所述电流传感器采样的超高压汞灯电流信号电平与所述电流基准信号电路设定的基准信号电平相比较，控制所述三极管开关电路导通或截止来控制所述脉宽控制器同相输入端电平下拉或恢复，控制所述超高压汞灯启动电流在一安全范围。