[发明专利]基板支撑装置

摘要

本发明提供一种具有高耐电压与高耐热性的金属制的基板支撑装置。本发明的基板支撑装置具备由金属形成的基板部；连接于平板部且由金属形成的轴部；配置于平板部的内部的发热体；以及通过陶瓷喷镀形成于平板部的与轴部相对置的第一面上的绝缘膜。还可以具有形成于与平板部的第一面大体垂直的第二面上的绝缘膜。

主权项

一种基板支撑装置，其特征在于具备：平板部，其由金属形成；轴部，其连接于所述平板部且由金属形成；发热体，其配置于所述平板部的内部；通过陶瓷喷镀形成于与所述平板部的所述轴部相对置的第一面上的绝缘膜；以及通过陶瓷喷镀形成于与所述平板部的第一面大体垂直的第二面上的绝缘膜，其中，在所述平板部的所述第一面与所述第二面的拐角部具有倒角或曲率，且从所述平板部的第二面朝向与所述轴部连接的所述平板部的第三面具有与所述平板部的板厚大致等值的曲率半径，从所述平板部的第二面朝向所述第三面，绝缘膜的厚度逐渐变薄。