[发明专利]用于执行等离子体化学气相沉积过程的装置

摘要

本发明涉及一种用于执行等离子体化学气相沉积过程的装置。该装置包括大体圆柱形的谐振器，该谐振器设有包围谐振腔的圆柱形外壁，谐振腔具有相对于圆柱轴线基本上旋转对称的形状。谐振器还包括在相对的圆柱轴线的方向上限制谐振腔的侧壁部。另外，该装置包括穿过圆柱形外壁延伸到谐振腔中的微波波导部。谐振腔在圆柱方向上的长度根据到圆柱轴线的径向距离变化。

主权项

一种用于执行等离子体化学气相沉积过程的装置，包括圆柱形的谐振器，所述谐振器设有包围谐振腔的圆柱形外壁，所述谐振腔具有相对于圆柱轴线旋转对称的形状，所述谐振器还设有在相对的圆柱轴线方向限制所述谐振腔的侧壁部，其中所述装置还包括微波波导部，所述微波波导部的一端穿过圆柱形外壁延伸到谐振腔中，并且其中所述谐振器包括环形元件，所述环形元件至少部分限定所述腔在圆柱方向的侧表面，使得所述谐振腔在圆柱方向上的长度根据到所述圆柱轴线的径向距离变化。