[发明专利]金属介质膜宽带脉冲压缩光栅

摘要

一种用于800纳米中心波长的金属介质膜宽带脉冲压缩光栅，是在石英基底上自内向外依次的金属层、介质膜组成的匹配层和光栅刻蚀层一体构成，最外层为SiO2。该矩形光栅的周期为490-640纳米；占空比为0.2-0.4。光栅刻蚀层中间层为高折射率层，内外层为低折射率层SiO2；匹配层外层为高折射率层，内层低折射率层；金层厚度大于50纳米。本发明金属介质膜宽带脉冲压缩光栅在入射角度53°，在700-909纳米波段TE偏振的-1级反射衍射效率大于90%。光栅在800纳米入射波长下，入射角度为29°-65°，TE偏振的-1级反射衍射效率大于90%。该光栅可以用作高功率超短脉冲激光系统的脉冲压缩光栅。

主权项

一种用于800纳米中心波长的金属介质膜宽带脉冲压缩光栅，特点在于其构成是在石英基底上自内向外依次的金属层（8）、介质膜组成的匹配层（7）和光栅刻蚀层（4）一体构成，所述的匹配层（7）自内向外由第一低折射率膜层（6）和第一高折射率层（5）构成、所述的光栅刻蚀层（4）自内向外由第二低折射率膜层（3）、第二高折射率层（2）和第三低折射率膜层（1）构成，所述的光栅刻蚀层（4）的光栅周期为490～640纳米，占空比为0.2～0.4。