[发明专利]激光退火装置及退火方法

摘要

本发明公开了一种激光退火装置及退火方法。将激光源发出的光分成主激光和调制激光阵列，调制激光阵列领先主激光不同的时间间隔到达掩膜上，在掩膜的不同位置处不同程度地拓宽掩膜的能带隙，使得主激光能够按照不同的透过率透射掩膜，且吸收光阑吸收所述调制激光阵列并使得透射后的主激光无损耗出射，从而能够针对晶圆的不同表面形成不同强度的退火激光，实现精确的退火效果。

主权项

一种激光退火装置，其特征在于，包括：激光源、分束器、倍频元件、塞孔阵、多个光程调节台、多个透镜、掩膜、吸收光阑和出射光阑；其中，所述激光源发出的光束经分束器后形成主激光和调制激光；所述调制激光经过所述倍频元件和塞孔阵后形成调制激光阵列；所述调制激光阵列和主激光经所述多个光程调节台调整光程差后透射多个透镜并先后到达至掩膜上并透射；所述主激光的光子能量和调制激光阵列的光子能量皆大于所述掩膜的能带隙；所述吸收光阑吸收所述调制激光阵列并使得透射后的主激光无损耗出射至出射光阑。