[发明专利]Y型波导激光直写装置无效
| 申请号： | 201210485868.6 | 申请日： | 2012-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN102981373A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 张海波;袁志军;周军;楼祺洪;魏运荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种Y型波导激光直写装置，由刻写光源，第一柱透镜，第二柱透镜，导轨、载物台和光学玻璃组成。激光经柱透镜组调制和干涉可实现成丝分叉现象，由于成丝对光学材料折射率的非线性光学调制作用而产生的波导效应，可以实现Y型波导的激光直写。本发明利用激光和简单的柱透镜组可实现在光学玻璃体内直写Y型光学波导。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 激光 装置 | ||
【主权项】：
一种Y型波导激光直写装置，其特征在于该装置由激光器（1）、第一柱透镜（2）、第二柱透镜（3）、导轨（4）、载物台（5）和光学玻璃（6）组成，上述各元部件的位置关系如下：所述的第一柱透镜（2）和第二柱透镜（3）的棱的方向相互垂直，所述的激光器（1）输出的激光入射到第一柱透镜（2），光束传输到位于第一柱透镜（2）的一倍焦距内的第二柱透镜（3），第二柱透镜（3）固定在导轨（4）上并可沿着光束平行方向自由移动，聚焦光束入射到位于载物台（4）上的光学玻璃（5）。
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