[发明专利]复合式校准标样及校准方法有效
| 申请号： | 201210491116.0 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN103017692A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 古耀达;周伦彬;王海燕;郭彤;黄志斌;蔡永洪;韦争亮;胡小唐;林建荣 | 申请（专利权）人： | 广州计量检测技术研究院 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00;G01B15/04;G01B15/08 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 谢伟 |
| 地址： | 510000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合式校准标样及校准方法，包括基体，所述基体具有上端面和下端面，所述下端面为安装底面，所述上端面为测试端面，所述测试端面设置有两级或两级以上的台阶，所述台阶上设置水平的台阶面，所述台阶面上设置标准格栅或标准表面粗糙度。本发明复合式校准标样及校准方法结构紧凑、体积小，便于归一存放、能减少标样更换和不同材料特性等引入测量不确定影响量，提高校准精度、有利于扫描电镜三维空间测量校准及功能扩展。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 校准 标样 方法 | ||
【主权项】：
一种复合式校准标样，其特征在于，包括基体，所述基体具有上端面和下端面，所述下端面为安装底面，所述上端面为测试端面，所述测试端面设置有两级或两级以上的台阶，所述台阶上设置水平的台阶面，所述台阶面上设置标准格栅或标准表面粗糙度。
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