[发明专利]一种真空或压力标准装置之间量值比对的方法

摘要

本发明公开了一种真空或压力标准装置之间量值比对的方法，属于测量技术领域。所述方法采用的装置包括：第一抽气系统、第一真空阀门、第一真空或压力标准装置、第二真空阀门、第三真空阀门、零点指示器、第四真空阀门、第二真空或压力标准装置、第五真空阀门和第二抽气系统。所述方法采用零点指示器解决了真空或压力标准装置之间量值比对的同时性问题，消除了比对时候装置之间的相互影响，测量不确定度小。且方法简单，实现了校准装置之间的直接比对。

主权项

1.一种真空或压力标准装置之间量值比对的方法，其特征在于：所述方法步骤如下：（1）启动第一抽气系统（1）和第二抽气系统（10），启动第一真空或压力标准装置（3）和第二真空或压力标准装置（8），打开第一真空阀门（2）、第四真空阀门（7）和第五真空阀门（9），启动零点指示器（6）至工作状态，对第一真空或压力标准装置（3）、零点指示器（6）和第二真空或压力标准装置（8）及其连接管道抽气；（2）当第一真空或压力标准装置（3）和第二真空或压力标准装置（8）抽至本底压力时，对第一真空或压力标准装置（3）和第二真空或压力标准装置（8）分别调零，并记录零点指示器（6）的零点示值p₀；（3）通过第二真空或压力标准装置（8）的进气系统将其调节到目标压力点p_t，同时通过第一真空或压力标准装置（3）的进气系统将其调节到与第二真空或压力标准装置（8）相同的压力点；（4）关闭第三真空阀门（5），打开第二真空阀门（4）；（5）微调第一真空或压力标准装置（3）的进气系统，使得零点指示器（6）的示值和步骤（2）中零点示值p₀有最小的偏离；（6）记录第一真空或压力标准装置（3）的示值p₃、零点指示器（6）的示值p₆和第二真空或压力标准装置（8）的示值p₈；（7）重复步骤（3）～（6），共测量n组数据，其中n≥6；（8）关闭第二真空阀门（4），打开第三真空阀门（5）；（9）关闭第一真空或压力标准装置（3）的进气系统和第二真空或压力标准装置（8）的进气系统，将第一真空或压力标准装置（3）与第二真空或压力标准装置（8）抽至本底压力；（10）当第一真空或压力标准装置（3）和第二真空或压力标准装置（8）抽至本底压力时，对第一真空或压力标准装置（3）和第二真空或压力标准装置（8）分别调零，并记录零点指示器（6）的零点示值p₀′；（11）关闭第一真空阀门（2）、第三真空阀门（5）、第四真空阀门（7）和第五真空阀门（9）；（12）关闭第一真空或压力标准装置（3）、第二真空或压力标准装置（8）和零点指示器（6）；（13）数据处理及判定：如果0包含在范围内，说明两个真空或压力标准装置具有很好的一致性；反之，说明两个真空或压力标准装置不具有很好的一致性；其中p_t为目标压力点，d为第一真空或压力标准装置（3）在所述目标压力点p_t的平均偏差，u(d)为测量不确定度。