[发明专利]用于位置确定设备的表面检测装置有效
| 申请号： | 201210492061.5 | 申请日： | 2006-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN102997843B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 若弗雷·麦克法兰;凯维恩·巴里·乔纳斯 | 申请（专利权）人： | 瑞尼斯豪公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高伟;陆弋 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于位置确定设备的表面检测装置，包括：探测器本体；具有检测工件的触针尖端的细长触针；所述触针被可互换地连接到所述探测器本体并且被安装到所述探测器本体以用于纵向位移；在所述探测器本体中用于测量所述纵向位移的设备；所述触针尖端经受横向位移；与所述可互换的触针相关联的传感器系统，用于测量所述尖端的所述横向位移。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 位置 确定 设备 表面 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种用于位置确定设备的表面检测装置，包括：探测器本体；安装在所述探测器本体上的可纵向移动的托架；具有检测工件的触针尖端的细长触针；所述触针被安装到所述可纵向移动的托架以用于纵向位移，并且所述触针被可互换地连接到所述托架和从所述托架拆卸以实现不同长度的触针；在所述探测器本体中用于测量所述纵向位移的设备；所述触针尖端经受横向位移；用于测量所述尖端的所述横向位移的传感器系统，所述传感器系统包括位于所述可互换的触针中的光学元件，所述光学元件在所述触针尖端处或在所述触针尖端附近或连接到所述触针尖端的光学元件，所述光学元件被构造成根据所述触针的长度来调节所述传感器系统的增益。
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