[发明专利]参数控制方法和参数控制系统有效
| 申请号： | 201210492770.3 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN103838202A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 简维廷;张启华 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种参数控制方法和参数控制系统。所述方法包括：建立待测参数间的关联性，分别为每个待测参数设定初始阈值范围；获取每个待测参数的数值，并比较数值是否位于对应的初始阈值范围内；当数值超出对应的初始阈值范围时，根据待测参数之间的关联性，调整待测参数或者与待测参数相关的其它待测参数的初始阈值范围。所述系统包括：设置模块，建立待测参数间的关联性，分别为每个待测参数设定初始阈值范围；获取模块，获取每个待测参数的数值；比较模块，判断数值是否位于对应的初始阈值范围内；优化模块，根据待测参数之间的关联性，调整待测参数或者与待测参数相关的其它待测参数的初始阈值范围。本发明可提高参数控制的精准度，最终降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 参数 控制 方法 控制系统 | ||
【主权项】：
一种参数控制方法，其特征在于，包括：提供多个待测参数；建立所述待测参数之间的关联性，且分别为每个所述待测参数设定初始阈值范围；获取每个待测参数的数值，并比较所述数值是否位于对应的初始阈值范围内；当发生所述数值超出对应的初始阈值范围时，进行优化处理，所述优化处理包括：根据待测参数之间的关联性，调整所述待测参数或者与所述待测参数相关的其它待测参数的初始阈值范围。
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