[发明专利]电容式微加工超声换能器制造方法及被检体信息获取装置

摘要

提供一种电容式微加工超声换能器制造方法及被检体信息获取装置。在该方法中，在换能器中提供的腔体通过连通部分与换能器的外部连通的情况下，在单个加热步骤中通过热处理来接合第一绝缘层和振动膜并且通过热氧化来形成第二绝缘层。

主权项

一种用于制造电容式微加工超声换能器的方法，所述电容式微加工超声换能器具有振动膜、基板和振动膜支撑构件，所述振动膜支撑构件被配置为支撑振动膜以在所述基板与所述振动膜之间形成腔体，所述方法包括以下步骤：在所述基板的任一面上形成第一绝缘层，所述第一绝缘层被图案化以充当所述振动膜支撑构件；把所述振动膜覆盖在被图案化的第一绝缘层上；在把所述振动膜覆盖在被图案化的第一绝缘层上之后，通过热处理来接合所述第一绝缘层和所述振动膜；以及在把所述振动膜覆盖在被图案化的第一绝缘层上之后，通过以下操作来在所述基板或所述振动膜的暴露于所述腔体的表面上形成第二绝缘层：通过允许所述腔体与所述电容式微加工超声换能器的外部连通的连通部分将气体引入所述腔体中并且在包含所述气体的气氛中的后续热氧化，其中，在所述腔体通过所述连通部分与所述电容式微加工超声换能器的外部连通的情况下，在单个加热步骤中通过热处理来接合所述第一绝缘层和所述振动膜并且通过热氧化来形成所述第二绝缘层。