[发明专利]钨钛靶材的制作方法有效
| 申请号： | 201210495237.2 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN103834923A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;杨广 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/16;C22C27/04;C22C1/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种钨钛靶材的制作方法，在该方法中，将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后，先对位于真空热压烧结模具边缘区域的钨钛合金粉末进行第一压实，然后再对整个钨钛合金粉末进行第二压实，经过第一压实及第二压实之后可以使得钨钛合金粉末将真空热压烧结模具的各个区域完全填满，因此经过真空热压烧结之后所获得的钨钛靶材坯料边缘部位不会存在密度不足、气孔等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 钨钛靶材 制作方法 | ||
【主权项】：
一种钨钛靶材的制作方法，其特征在于，包括：提供钨钛合金粉末；将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中，对位于真空热压烧结模具边缘区域的钨钛合金粉末进行第一压实，以使钨钛合金粉末充分填充在真空热压烧结模具的边缘区域；对整个钨钛合金粉末进行第二压实，以使钨钛合金粉末充分填充在真空热压烧结模具的各个区域；将装填有钨钛合金粉末的真空热压烧结模具放入真空热压烧结炉中，进行真空热压烧结，以获得钨钛靶材坯料；对钨钛靶材坯料进行机械加工，以获取钨钛靶材。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料有限公司，未经宁波江丰电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210495237.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
