[发明专利]挥发性有机物的回收系统及其回收流程

摘要

一种挥发性有机物的回收系统及其回收流程，该挥发性有机物回收系统包括一热处理单元、一顶部进气单元、一引气单元及一防治单元，其中所述热处理单元具有一上气室、一烘箱及一下气室，而所述顶部进气单元与所述上气室相连接，所述引气单元分别与所述上气室及所述烘箱相连接，且所述防治单元与所述烘箱相连接，藉此，热处理装置的上气室所排放的VOCs可经由所述引气单元的导引而进入所述防治单元，以提升均化控制效率。本发明另提供一种挥发性有机物的回收系统的回收流程。

主权项

一种挥发性有机物的回收系统，其特征在于，包括：一热处理单元，包含有一上行加热炉及一邻设于所述上行加热炉的下行加热炉，所述上行加热炉与所述下行加热炉各自具有一上气室、一下气室及一位于所述上气室与所述下气室之间的烘箱；一顶部进气单元，具有一制程气体产生室及一导气管路，所述导气管路的一端连接所述制程气体产生室，且所述导气管路的另一端分别与所述上行加热炉的所述上气室及所述下行加热炉的所述上气室相连接；一引气单元，具有一第一引气管路及一第二引气管路，所述第一引气管路的一端分别与所述下行加热炉的所述上气室及所述导气管路相连接，且所述第一引气管路的另一端连接所述上行加热炉的所述烘箱，所述第二引气管路的一端连接所述上行加热炉的所述烘箱，且所述第二引气管路的另一端连接所述下行加热炉的所述烘箱；以及一排气管路，所述排气管路与所述下行加热炉的所述烘箱相连接。