[发明专利]大型空间环境模拟器清洁真空抽气系统及抽气方法

摘要

本发明公开了大型空间环境模拟器清洁真空抽气系统及抽气方法，包括粗抽系统、磁悬浮分子泵系统和低温泵系统。其中，粗抽系统包括若干套并联的粗抽机组，每套粗抽机组由应用于半导体行业的无油干泵罗茨泵机组构成，通过PLC及上位计算机对真空抽气全过程进行自动控制和测量以实现大型空间环境模拟器高真空的获得与维持；其中，磁悬浮分子泵系统由应用于半导体行业用的磁悬浮分子泵和无油干泵罗茨泵机组组成；其中，低温泵系统采用制冷机低温泵，其低温泵前级采用分子泵和干泵罗茨泵组成的机组；本发明也公开了相应的抽气工艺。本发明通过采用无油的真空抽气系统和合理的抽气工艺，解决了大型空间模拟器清洁高真空的获得问题。

主权项

大型空间环境模拟器清洁真空抽气系统，其为不使用泵油作为直接工作介质的清洁抽气设备，包括设置在大型空间环境模拟器上分别通过高真空阀门与容器隔离的粗抽系统、磁悬浮分子泵系统和低温泵系统，粗抽系统包括若干套并联的粗抽机组，每套粗抽管路由用于半导体行业的无油干泵罗茨泵机组构成，粗抽系统与大型空间模拟器之间的管路上设置有真空测量装置，通过PLC及上位计算机对真空抽气全过程进行自动控制和测量以实现大型空间环境模拟器高真空的获得；其中，磁悬浮分子泵系统和低温泵系统与大型空间环境模拟器的连接管路上分别设置有真空阀门和真空测量装置，磁悬浮分子泵系统由半导体行业用的磁悬浮分子泵和无油干泵机组组成；低温泵系统采用制冷机低温泵作为主泵，其前级采用磁悬浮分子泵和无油干泵机组。