[发明专利]手动式直接曝光装置的工作台保护装置无效
| 申请号： | 201210496200.1 | 申请日： | 2012-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103365109A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 清水修一;森田亮 | 申请（专利权）人： | 株式会社奥珂制作所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种手动式直接曝光装置的工作台保护装置。该手动式直接曝光装置使用于载置基板的基板工作台在用于装卸该基板的装卸部和用于对该基板进行曝光的曝光部之间移动，通过该工作台保护装置，在开闭基板工作台的装卸部的上部时很少会产生尘埃，或者能够容易地去除产生的尘埃。在该手动式直接曝光装置的工作台保护装置中，装卸部朝上方敞口，在该曝光装置的主体上支承有用于开闭上述装卸部的上部的卷帘的卷轴，在该主体上设有用于对从该卷帘拉出而覆盖上述装卸部的帘幕的前端进行卡定的卡定部。 | ||
| 搜索关键词： | 手动式 直接 曝光 装置 工作台 保护装置 | ||
【主权项】：
一种手动式直接曝光装置的工作台保护装置，该手动式直接曝光装置使用于载置基板的基板工作台在用于装卸该基板的装卸部和用于对该基板进行曝光的曝光部之间移动，该工作台保护装置的特征在于，上述装卸部朝上方敞口；在该曝光装置的主体上支承有用于开闭上述装卸部的上部的卷帘的卷轴；在与该卷轴相对的位置设有用于对从该卷帘拉出而覆盖上述装卸部的帘幕的前端进行卡定的卡定部；以及该卷帘具有卷轴支承部。
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