[发明专利]一种优化CDSEM跑货顺序的方法

摘要

一种优化CDSEM跑货顺序的方法，包括：步骤S1：导出已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer；步骤S2：计算单点制程时间Tpoint；步骤S3：将所述单点制程时间Tpoint导入自动派货系统；步骤S4：计算所述CDSEM量测机台的等待时间Twait；步骤S5：所述自动派货系统根据步骤S4所获得的等待时间Twait，以及所述自动派货系统所记录的批量产品的优先等级顺序优化所述CDSEM量测机台的跑货顺序。本发明所述的优化CDSEM跑货顺序的方法实现了CDSEM量测机台等待时间的量化，并结合所述自动派货系统记录的批量产品的优先等级顺序、测量点数量等相关信息，优化所述CDSEM量测机台的跑货顺序，不仅提高了所述CDSEM量测机台的利用率，而且减少了高等级批量产品在所述CDSEM测量站点的等待时间，极大的改善了生产效率。

主权项

1.一种优化CDSEM跑货顺序的方法，其特征在于，所述方法包括：执行步骤S1：利用CDSEM测量处方浏览器软件导出已完成跑货的批量产品之制程时间T_wafer；执行步骤S2：计算单点制程时间T_point；通过量测程式的设定，并结合所述CDSEM测量处方浏览器软件导出的已完成跑货的批量产品之制程时间T_wafer，并依据公式计算所述单点制程时间T_point；执行步骤S3：将所述单点制程时间T_point导入自动派货系统，所述自动派货系统可导入所述CDSEM测量处方浏览器软件输出的数据并进行计算，同时所述自动派货系统可对相关信息进行记录，所述相关信息包括批量产品的优先等级顺序、测量点数量；执行步骤S4：计算所述CDSEM量测机台的等待时间T_wait，所述自动派货系统通过公式：T_wait＝T_recipe1point×Lot1×N1_point+T_recipe2point×Lot2×N2_point+…+T_recipenpoint×Lotn×Nn_point，获得所述CDSEM量测机台的等待时间T_wait；执行步骤S5：所述自动派货系统根据步骤S4所获得的等待时间T_wait，以及所述自动派货系统所记录的批量产品的优先等级顺序安排所述CDSEM量测机台的跑货顺序。