[发明专利]一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法有效
| 申请号： | 201210497098.7 | 申请日： | 2012-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN102936715A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 黄信二 | 申请（专利权）人： | 研创应用材料（赣州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 杨志宇 |
| 地址： | 341000 江西省赣州*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，是用物理气象沉积方法制备平坦化金属薄膜，调节制程工作压力来达到不同成分或合金设计的前趋物金属的平坦化，使制得的金属薄膜的表面粗度减少了百倍左右，进而改变单层或多层前驱层薄膜的平坦化设计，在硒化与硫化过程中，以达到降低吸收层表面粗度的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 凝结 制备 前趋物 金属 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，其特征为：制备铟金属薄膜时，把所需镀着玻璃基材放入溅镀腔体中，以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10‑2‑0.9×10‑2mtorr，用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为10‑50mtorr，以直流功率100瓦进行60分钟的溅镀制程，制得平坦化铟金属薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于研创应用材料（赣州）有限公司，未经研创应用材料（赣州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210497098.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
