[发明专利]石墨烯晶体管以及制造石墨烯器件的方法

摘要

本发明提供了石墨烯晶体管以及制造石墨烯器件的方法。制造石墨烯器件的方法可以包括在第一基板上形成包括石墨烯层的器件部分；将第二基板附接在第一基板的器件部分上；以及移除第一基板。移除第一基板可以包括蚀刻第一基板与石墨烯层之间的牺牲层。在移除第一基板之后，第三基板可以附接在器件部分上。在附接第三基板之后，可以移除第二基板。

主权项

一种制造石墨烯器件的方法，该方法包括：在第一基板上形成石墨烯层；在所述第一基板上形成器件部分，所述器件部分包括所述石墨烯层，其中形成所述器件部分包括：形成分别接触所述石墨烯层的第一区和第二区的源电极和漏电极；形成覆盖所述石墨烯层、所述源电极和所述漏电极的栅绝缘层；以及在所述栅绝缘层上且在所述源电极与所述漏电极之间形成栅极；将第二基板附接到所述器件部分上；以及移除所述第一基板；在移除所述第一基板之后，将第三基板附接在所述器件部分上，其中所述器件部分设置在所述第二基板与所述第三基板之间；以及去除整个所述第二基板。