[发明专利]有机电致发光装置的制造方法有效
申请号: | 201210498618.6 | 申请日: | 2012-11-23 |
公开(公告)号: | CN103137904A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 森山孝志;和泉望;远藤太郎;广木知之;盐原悟;佐藤信彦 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 有机电致发光装置的制造方法,包括:在第一有机化合物层上形成掩模层和中间层以使掩模层和中间层具有预定图案的步骤;利用掩模层和中间层将第一有机化合物层进行图案化的步骤;形成第二有机化合物层的步骤;和以使中间层与用于溶解中间层的溶解液接触的方式将中间层和其上形成的第二有机化合物层除去的步骤。该方法中,直至完成第一和第二有机化合物层的图案化,通过用牺牲层覆盖第一和第二有机化合物层来保护第一和第二有机化合物层。 | ||
搜索关键词: | 有机 电致发光 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
有机电致发光装置的制造方法,该有机电致发光装置包括基板和配置在该基板上的有机电致发光元件,该有机电致发光元件各自包括第一电极、第二电极和配置在该第一电极和该第二电极之间的有机化合物层,该方法包括:在设置有第一电极的基板上依次形成第一有机化合物层、第一牺牲层和中间层的步骤;在中间层的预定区域上选择性地形成掩模层的步骤;从没有用掩模层覆盖的区域部分地将中间层、第一牺牲层和第一有机化合物层除去的步骤;在残留的中间层和将第一有机化合物层除去的区域上依次形成第二有机化合物层和第二牺牲层的步骤;以使中间层与溶解液接触并且溶解在其中的方式将中间层和其上形成的层除去的步骤;以使第一和第二牺牲层与溶解液接触并且溶解在其中的方式将第一和第二牺牲层除去的步骤;和在第一电极上残留的第一和第二有机化合物层上形成第二电极的步骤。
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