[发明专利]一种高致密铬合金靶材的生产方法

摘要

本发明涉及一种高致密铬合金靶材的生产方法，其包括依次进行的真空脱气、阶段性升温加、保压炉冷、热锻、退火、热轧、退火以及机加工步骤，其中：采用-200目、纯度为99.95wt%以上、氧含量为1000ppm以下的铬粉以及合金金属的粉体为原料。本发明能够成功获得成分与密度均匀、晶粒大小小于100微米、纯度大于99.9%、相对密度大于99%、氧含量小于1000ppm的高致密铬合金靶材。此外，本发明方法生产成本低，工艺过程简单易控。

主权项

一种高致密铬合金靶材的生产方法，所述的铬合金为铬与选自镍、硅、钛、钴、铂中的一种或多种的合金，其特征在于：所述的生产方法包括依次进行的如下步骤：（Ⅰ）、真空脱气：采用‑200目、纯度为99.95wt%以上、氧含量为1000ppm以下的铬粉以及合金金属的粉体为原料，均匀混料后，将原料放入模具中，首先加压4~6MPa，然后在真空度保持为10‑3Pa以下的环境下，以250~400℃/h的加热速率加热至500~800℃，保温40~80min，充入氩气；（Ⅱ）、阶段性升温加压：加压至9~12MPa，然后以150~250℃/h的加热速率加热至550~1100℃，保温40~80min；然后以90~110℃/h的加热速率加热至600~1400℃，保温40~80min，从1100℃开始，在温度上升的过程中温度每上升40~60℃增加1.5~2.5MPa压力，加热截止温度为1350~1500℃，直至压力为20~100MPa；（Ⅲ）、保压炉冷：保持20~100MPa的压力，停止加热，靶材随炉冷；（Ⅳ）、热锻：锻造温度为400~1200℃，变形率为0.1%/min~20%/min；（Ⅴ）、退火：在300℃～700℃温度下保温3～5小时进行去应力退火；（Ⅵ）、热轧：采取单向式、交叉式或旋转式的热扎方式，轧制的道次变形率为2%~20%；（Ⅶ）、退火：在300℃～700℃温度下保温3～5小时进行去应力退火；（Ⅷ）、机加工获得铬合金靶材成品。