[发明专利]窄线宽准分子激光器无效
| 申请号： | 201210507225.7 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN102983485A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 袁志军;张海波;周军;楼祺洪;魏运荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H01S3/08 | 分类号： | H01S3/08;H01S3/10 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种窄线宽准分子激光器，由棱镜扩束系统、紫外光栅、紫外标准具、放电腔及耦合输出镜组成。准分子激光先经棱镜扩束系统和紫外光栅进行线宽压窄，输出的窄线宽激光经过谐振腔外垂直光路放置的紫外标准具，对其光谱进一步压窄。本发明涉及的窄线宽准分子激光器结构紧凑，装调简单，腔内损耗小增益高，因此可以同时获得窄线宽光谱和较高输出能量指标。 | ||
| 搜索关键词： | 窄线宽 准分子激光 | ||
【主权项】：
一种窄线宽准分子激光器，其特征在于该激光器由棱镜扩束系统（1）、紫外光栅（2）、紫外标准具（3）、放电腔(4)和耦合输出镜(5)组成，上述各部分的位置关系如下：准分子激光在放电腔内(4)受到激励，经棱镜扩束系统(1)和紫外光栅(2)进行线宽压窄，窄线宽激光在紫外光栅(2)和输出耦合镜(5)为腔镜的谐振腔内振荡放大后，从所述的输出耦合镜(5)方向经垂直于光路放置的紫外标准具（3）输出，所述的紫外光栅(2)的激光入射角与其衍射角相同。
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