[发明专利]平面并联式三自由度精密定位工作台

摘要

一种平面并联式三自由度精密定位工作台，有分别对应的设置在三角形结构的基座的三个等边内侧的结构完全相同的三个柔性支链，设置在三个柔性支链内侧且位于基座的中心的动平台，基座、三个柔性支链和动平台为一体形成，三个柔性支链分别与基座为柔性连接，且三个柔性支链的位移输入端分别对应基座的三个夹角，动平台与三个柔性支链为柔性连接，基座的每一个夹角内侧与所对应的一个柔性支链之间形成有凹槽，凹槽内水平设置有压电陶瓷驱动器，压电陶瓷驱动器的一端与柔性支链的位移输入端之间为赫兹接触，压电陶瓷驱动器的另一端通过螺栓固定连接在基座上。本发明结构紧凑、控制灵活、静动态刚度高、运动精度高、低惯量、无误差积累、无摩擦和无发热、响应速度快。

主权项

一种平面并联式三自由度精密定位工作台，其特征在于，包括：正三角形结构的基座（1），分别对应的设置在基座（1）的三个等边内侧的结构完全相同的三个柔性支链（4），设置在三个柔性支链（4）内侧且位于基座（1）的中心的动平台（5），所述的基座（1）、三个柔性支链（4）和动平台（5）为一体形成，其中，所述的三个柔性支链（4）分别与基座（1）为柔性连接，且三个柔性支链（4）的位移输入端分别对应基座（1）的三个夹角，所述的动平台（5）与所述的三个柔性支链（4）为柔性连接，所述的基座（1）的每一个夹角内侧与所对应的一个柔性支链（4）之间形成有凹槽（6），所述的凹槽（6）内水平设置有用于驱动柔性支链（4）的压电陶瓷驱动器（2），所述的压电陶瓷驱动器（2）的一端与所述的柔性支链（4）的位移输入端之间为赫兹接触，所述的压电陶瓷驱动器（2）的另一端通过螺栓（7）固定连接在基座（1）上。