[发明专利]角度分解散射仪和检验方法

摘要

本发明公开了一种角度分解散射仪和一种检验方法，其中在角度分解散射仪中，设置孔板，所述孔板包括至少一个遮挡部分，所述遮挡部分延伸入光瞳平面的像中。根据在所述遮挡部分的像的最内点和光瞳的像的名义中心之间的径向距离确定目标图案的离焦量的值。通过在多个不同离焦位置上采用参考板捕捉多个用于进行归一化的像并从目标图案的测量光谱中减去合适的用于进行归一化值，而对离焦误差进行补偿。

主权项

一种检验方法，所述检验方法用于确定与通过用于在衬底上制造器件层的光刻工艺而被印刷在衬底上的目标图案的参数相关的值，所述方法包括：采用包括高数值孔径的物镜的光学系统，所述物镜具有物平面和光瞳平面以将第一辐射束引导到参考部件上，以收集由所述参考部件反射或散射的辐射，并将第二辐射束进行投影，从而在像平面中形成物镜的光瞳平面的像；沿着大致垂直于所述物平面的方向相对地移动参考部件和光学系统，以便将所述参考部件定位在与物平面具有不同距离的多个位置上；当参考部件位于所述多个位置中的每一个上时，捕捉所述参考部件的散射仪光谱；将所述参考部件的散射仪光谱存储为多个用于归一化的光谱；采用光学系统将第一辐射束引导到目标图案上，以收集由所述目标图案反射或散射的辐射，并将第二辐射束进行投影，从而在像平面中形成物镜的光瞳平面的像；捕捉所述目标图案的散射仪光谱；确定目标图案和物平面之间的距离；基于所确定的在所述目标图案和物平面之间的距离获得用于进行归一化的光谱；采用所获得的用于进行归一化的光谱对所述目标图案的光谱进行归一化，以获得归一化光谱；以及根据所述归一化光谱确定与所述参数相关的值。