[发明专利]氩气的纯化方法及纯化装置

摘要

本发明为氩气的纯化方法及纯化装置。在吸附处理的预处理阶段降低氩气的杂质含有率、减少纯化所需的能耗、将氩气纯化至高纯度。[解决方法]纯化至少含有氧、氢、一氧化碳、烃、油分和氮作为杂质的氩气时，使烃的一部分和油分吸附于活性炭。接着，如果氩气中的氧量在与氩气中的全部氢、一氧化碳和烃反应所需要的氧设定量以下，则添加氧使其量高于设定量，通过使用铑催化剂使所述反应发生。接着，以高于与该反应中残留的全部氧反应所需要的设定量的条件在氩气中添加一氧化碳，使用钌、铑或它们的混合物作为催化剂使所述反应发生。接着，通过变压吸附法使氩气中的一氧化碳、二氧化碳、水和氮吸附于吸附剂。

主权项

氩气的纯化方法，所述氩气是至少含有氧、氢、一氧化碳、烃、油分和氮作为杂质的氩气，其特征在于，使所述氩气中的烃的一部分和油分吸附于活性炭，接着，判断所述氩气中的氧量是否高于与所述氩气中的全部氢、一氧化碳和烃反应所需要的设定量，所述氩气中的氧量为所述设定量以下的情况下，添加氧使其量高于所述设定量，接着，通过使用铑作为第一反应用催化剂使所述氩气中的一氧化碳、氢和烃与氧反应，以氧残留的状态生成二氧化碳和水，接着，以所述氩气中的一氧化碳量高于与该残留的全部氧反应所需要的设定量的条件添加一氧化碳，接着，通过使用钌、铑或它们的混合物作为第二反应用催化剂使所述氩气中的氧和一氧化碳反应，以一氧化碳残留的状态生成二氧化碳，接着，通过变压吸附法使所述氩气中的至少一氧化碳、二氧化碳、水和氮吸附于吸附剂。