[发明专利]用于粘附工件的方法和工件粘附装置有效
申请号: | 201210511482.8 | 申请日: | 2012-12-04 |
公开(公告)号: | CN103144029B | 公开(公告)日: | 2017-07-07 |
发明(设计)人: | 小布施敦史;寺泽光子 | 申请(专利权)人: | 不二越机械工业株式会社 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06;H01L21/304;H01L21/67 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 用于粘附工件的方法和工件粘附装置。该用于粘附工件的方法能够将工件抛光成具有相同的厚度。该用于粘附工件的方法在工件粘附装置中实施,该工件粘附装置包括加压台;和设置于加压台的上方并且能够彼此独立地靠近和远离加压台地移动的多个加压头。加压台和加压头将工件压到板上并利用粘合剂使工件粘附至板。每个加压头均以相同的压力将对应的一个工件压到板上。 | ||
搜索关键词: | 用于 粘附 工件 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种用于粘附工件的方法,所述方法在工件粘附装置中实施,所述工件粘附装置包括:加压台,其包括加热机构和冷却机构;以及多个加压头,所述多个加压头设置于所述加压台的上方并且能够彼此独立地靠近和远离所述加压台地移动,其中,所述加压台和所述加压头将所述工件压到板上并利用粘合剂使所述工件粘附至所述板,其特征在于,所述方法包括以下步骤:将已加热到预定温度的所述板输送至所述加压台,或在所述加压台上将所述板加热到预定温度;将粘合剂涂布至已加热到预定温度的所述板的预定部分;将所述工件放置于被加热并熔化的所述粘合剂上;将每个所述加压头加热到预定温度;使每个所述加压头均朝向所述加压台移动,用每个所述加压头相互独立地以均在相同的压力下将对应的一个工件压到所述板上并持续预定时间;通过在所述工件被各所述加压头加压的状态下利用所述冷却机构使所述加压台和所述板冷却并使所述粘合剂固化而将所述工件粘附至所述板;以及使每个所述加压头均远离所述加压台地移动,以将粘附有所述工件的所述板从所述加压台取出,在用每个所述加压头按压工件并将工件粘附到所述板上的步骤中,检测每个所述加压头的温度,并且在确认到每个所述加压头的温度低于预定温度之后,停止每个所述加压头的加压动作。
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