[发明专利]射频离化硒源装置在审
| 申请号： | 201210514570.3 | 申请日： | 2012-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN102943242A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 赵岳;申绪男;张颖武;杨亦桐;乔在祥;赵彦民 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;H01L31/18 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 李凤 |
| 地址： | 300384 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种射频离化硒源装置，包括Se源蒸发区和气体输出区，其特点是：Se源蒸发区和气体输出区之间连接有气体离化器；气体离化器包括离化器壳体，离化器壳体内壁置有绝缘层，绝缘层内有两个电极，两个电极之间的空隙形成离化腔室；离化腔室与Se蒸汽输入管和Ar气输入管相通；露在表面的输气管路均包有热保护装置。本发明采用了气体离化器，将Ar气生成等离子带电体，并稳定存在于环形极板及电极柱之间，形成辉光放电区；Se蒸汽进入到辉光放电区间后，由低活性Sen（n≥5）大原子团裂解成较高活性Sen（n＜5）小原子团，对优化CIGS吸收层制备工艺、提高CIGS薄膜太阳电池的光电转换效率起到了显著的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 离化硒源 装置 | ||
【主权项】：
射频离化硒源装置，包括带有Se源料桶的Se源蒸发区和带有喷嘴的气体输出区，其特征在于：所述Se源蒸发区和气体输出区之间连接有气体离化器；所述气体离化器包括带有法兰的离化器壳体，离化器壳体内壁置有绝缘层，绝缘层内有两个电极，两个电极之间的空隙形成离化腔室；离化腔室与Se蒸汽输入管和Ar气输入管相通，两个电极引出与适配器两端连接的电极接线柱；露在表面的输气管路均包有热保护装置。
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