[发明专利]超声扫描显微镜智能扫描的实现方法无效
| 申请号： | 201210515358.9 | 申请日： | 2012-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN103018332A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 连军莉;魏鹏;罗杨;付纯鹤 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | G01N29/06 | 分类号： | G01N29/06;G01N29/26 |
| 代理公司： | 北京中建联合知识产权代理事务所 11004 | 代理人： | 朱丽岩;刘湘舟 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超声扫描显微镜的智能扫描的实现方法，通过按扫描顺序学习上次扫描时的各种扫描参数并生成一包含有所述各种扫描参数的扫描文件，在下次扫描同一器件或同一批器件时，直接利用所述扫描文件进行扫描。本发明通过学习上次扫描时设置的各种扫描参数生成一扫描文件，在下次扫描同一器件或者同一批器件时，直接利用所述扫描文件进行扫描，省去了重复设置扫描参数的麻烦，因而，本发明扫描实现方法方便快捷，省时省力，即使生手，也能操作实现快速扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 扫描 显微镜 智能 实现 方法 | ||
【主权项】：
一种超声扫描显微镜智能扫描的实现方法，其特征在于，通过按扫描顺序学习上次扫描时的各种扫描参数并生成一包含有所述各种扫描参数的扫描文件，在下次扫描同一器件或同一批器件时，直接利用所述扫描文件进行扫描。
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