[发明专利]一种MEMS扫描探头

摘要

本发明涉及一种MEMS扫描探头，包括基座（1）、光纤（2）、透镜（3）、柔性双金属结构（8）、微镜底座（7）、以及设置在微镜底座（7）下表面的MEMS微镜（4），各个部件按照本发明的设计要求相互进行连接，其中，微镜底座（7）下表面上与基座（1）最接近的边和基座（1）的端部对设置于微镜底座（7）下表面的MEMS微镜（4）的自倾斜状态进行了限位；本发明设计的MEMS扫描探头在实现MEMS微镜在自倾斜状态的基础上，能够方便、准确的控制MEMS微镜的自倾斜角度。

主权项

一种MEMS扫描探头，包括基座（1）、光纤（2）、透镜（3）、微镜底座（7）、以及设置在微镜底座（7）下表面的MEMS微镜（4），其中，基座（1）的下表面沿其轴向方向设置有两端开口的光学定位槽（6）；光纤（2）设置在光学定位槽（6）内；通过设置在光学定位槽（4）内的透镜定位槽（9），将透镜（3）设置在光纤（2）的一端；其特征在于：还包括柔性双金属结构（8），微镜底座（7）的一边通过柔性双金属结构（8）与基座（1）上靠近透镜（3）的端部相连接，其中，柔性双金属结构（8）的两端分别连接基座（1）端部的上表面和微镜底座（7）的上表面；柔性双金属结构（8）使得设置于微镜底座（7）下表面的MEMS微镜（4）处于自倾斜状态，与光学定位槽（6）实现光学对准，且微镜底座（7）下表面上与基座（1）最接近的边和基座（1）的端部对设置于微镜底座（7）下表面的MEMS微镜（4）的自倾斜状态进行了限位。