[发明专利]一种Cu-MoCu-Cu三层复合板材的熔渗制备方法

摘要

本发明提供了一种Cu-MoCu-Cu三层复合板材的熔渗制备方法如下：一、将钼粉压制成板坯并烧结为多孔钼骨架；二、将多孔钼骨架铺设于铜板之间进行熔渗，得到Cu-MoCu-Cu三层复合材料；三、表面加工平整；四、多道次热轧；五、退火处理；六、多道次冷轧；七、经表面处理和成品剪切，得到Cu-MoCu-Cu三层复合板材。本发明将熔渗及复合步骤同步制备Cu-MoCu-Cu三层复合板材，大大缩短了工艺流程，提高了生产效率，各层之间以熔渗的方式结合，显著提高了层间结合力，同时有效避免了层间氧化问题；采用本发明制备的Cu-MoCu-Cu三层复合板材的层间结合优良，导热性好，能够解决大规模集成电路的散热问题。

主权项

一种Cu‑MoCu‑Cu三层复合板材的熔渗制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、采用油压机将钼粉压制成厚度为5mm～15mm的钼板坯，然后将所述钼板坯置于氢气炉中，在氢气气氛保护下，于1500℃～1800℃烧结1h～3h，得到相对密度为60%～90%的多孔钼骨架；步骤二、将步骤一中所述多孔钼骨架铺设于两张铜板之间，然后将铺设有两张铜板的多孔钼骨架置于氢气炉中，在氢气气氛保护下，于1300℃～1450℃熔渗1h～2h，得到表面完全被铜包覆的Cu‑MoCu‑Cu三层复合材料；步骤三、将步骤二中被铜包覆的Cu‑MoCu‑Cu三层复合材料的表面机加工平整；步骤四、将步骤三中表面机加工平整的Cu‑MoCu‑Cu三层复合材料在温度为750℃～900℃的条件下进行多道次热轧，道次间将热轧后的Cu‑MoCu‑Cu三层复合材料置于氢气炉中加热，得到厚度为0.5mm～3mm的热轧板材；步骤五、将步骤四中所述热轧板材置于氢气炉中进行退火处理；步骤六、将步骤五中经退火处理后的热轧板材进行多道次冷轧，得到厚度为0.1mm～2mm的冷轧板材；步骤七、将步骤六中所述冷轧板材进行表面处理，然后将表面处理后的冷轧板材进行成品剪切处理，得到厚度为0.1mm～2mm的Cu‑MoCu‑Cu三层复合板材。