[发明专利]一种化学抛光方法有效
| 申请号： | 201210521246.4 | 申请日： | 2012-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN103849876A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 郑睿;梁利斌;马国杰 | 申请（专利权）人： | 浙江伟星实业发展股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F3/06 | 分类号： | C23F3/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵;李玉秋 |
| 地址： | 317025 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种化学抛光方法，该方法先将铜或铜合金置于氧化液中进行氧化，再将氧化后的铜或氧化后的铜合金置于出光液中进行处理。与现有技术“三酸”工艺及采用过氧化氢系列抛光液相比，本发明将化学抛光过程分为两步，先在铜或铜合金的表面形成氧化层，再进行出光处理。首先，氧化液及出光液中不含硝酸，不会产生大量的黄烟污染环境，也降低了对操作人员健康的危害；其次，将抛光过程分为氧化和出光两步，氧化物更易溶解于硫酸中，同时增加了出光操作平台的时间，可避免抛光过程中发生爆沸，降低了反应的危险性；再次，氧化液中添加了醇类化合物为稳定剂，增强了过氧化物的稳定性，使氧化液使用寿命延长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学抛光 方法 | ||
【主权项】：
一种化学抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：A）将铜或铜合金置于氧化液中进行氧化；所述氧化液包含过氧化物、过硫酸盐、明胶、尿素、醇类化合物与浓硫酸或浓磷酸；B）将氧化后的铜或氧化后的铜合金置于出光液中进行处理；所述出光液包含过氧化物、椰油酸二乙醇酰胺、苯并三氮唑类缓蚀剂、硝酸盐、水与浓硫酸或浓磷酸。
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