[发明专利]一种有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置无效
| 申请号： | 201210527824.5 | 申请日： | 2012-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103045996A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 袁桃利;牟强 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710021 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于平板显示技术领域，涉及一种有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置。本发明的掩模板调节装置包括一端带有调节装置的框架，所述框架两侧的内壁上设置有导轨，所述导轨中安装有掩模板板体，调节装置和掩模板板体相连接。本发明的掩模板系统是一种全新的结构，调节装置的设置，使得蒸镀制备器件过程中不必频繁更换掩模板，使得蒸镀过程更容易操作，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 电致发光 器件 蒸镀用掩 模板 调节 装置 | ||
【主权项】：
一种有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置，其特征在于，包括带有调节装置（2）的框架（1），所述框架（1）两侧的内壁上设置有导轨（5），所述导轨（5）中安装有掩模板板体（7），调节装置（2）和掩模板板体（7）相连接。
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