[发明专利]转印装置及转印方法

摘要

本发明的目的在于，在将担载于担载体上的被转印物转印到基板上的技术中，提供一种即使在难以确保良好的拍摄环境的情况下也能够对基板和担载体高精度地进行对位的技术。对拍摄定位图案（AP2）而得到的图像数据（A），进行除去比与图案的线宽相对应的空间频率更高的频率成分的滤波处理，以得到除去了随机噪声的影响的数据（B）。进一步，得到仅提取了比与图案的线宽相对应的空间频率更低的成分（主要是黑点成分）的数据（C）。通过取得（B）的数据和（C）的数据之比来除去黑点成分，进而乘以大于1的增强系数，来得到增强了定位图案（AP2）的边缘部分的数据（D）。

主权项

一种转印装置，将作为被转印物的图案或薄膜转印到基板上，其特征在于，具有：保持单元，其在使担载体和所述基板彼此分离并且使所述担载体的一个表面与所述基板相向的状态下，保持所述担载体和所述基板，在所述担载体的所述一个表面上担载应转印到所述基板上的所述被转印物及规定的定位标记，拍摄单元，其从所述担载体的与所述一个表面相反的表面一侧，经由所述担载体对所述定位标记进行拍摄，图像处理单元，其通过图像处理来从所述拍摄单元所拍摄的图像中检测出所述定位标记，定位单元，其基于检测出的所述定位标记来调整所述基板和所述担载体之间的相对位置；所述拍摄单元具有用于对焦到所述定位标记上的焦点调整机构，该焦点调整机构基于由所述图像处理单元实施了对比度增强处理的所述定位标记的图像来进行对焦。