[发明专利]一种原子束二维冷却光学棱镜架有效

专利信息
申请号: 201210530090.6 申请日: 2012-12-10
公开(公告)号: CN103116212A 公开(公告)日: 2013-05-22
发明(设计)人: 马艳;张万经 申请(专利权)人: 同济大学
主分类号: G02B7/182 分类号: G02B7/182;G02B7/18;G03F7/20
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人: 吴林松
地址: 200092 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种二维冷却光学棱镜架,包括:五棱镜,第一反射镜,第二反射镜,第三反射镜,所述三个反射镜分别粘合在五棱镜上且反射面延伸出同侧棱镜外,粘合面为五棱镜使用中光线反射的两个面,以及光线透射的两个面中任意一个面。该原子束二维冷却光学棱镜架具有以下优点:1.能实现原子束的二维冷却准直,为二维原子光刻提供了高准直性的原子源;2.保证了与现有实验装置的兼容性和高度的集成性,无需对真空室进行改造,节约了成本;3.具有扩展性,可为二维原子光刻提供一种实现手段。
搜索关键词: 一种 原子 二维 冷却 光学 棱镜
【主权项】:
一种二维冷却光学棱镜架,其特征在于:包括:五棱镜,第一反射镜,第二反射镜,第三反射镜,所述三个反射镜分别粘合在五棱镜上且反射面延伸出同侧棱镜外,粘合面为五棱镜使用中光线反射的两个面,以及光线透射的两个面中任意一个面。
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