[发明专利]一种原子束二维冷却光学棱镜架有效
申请号: | 201210530090.6 | 申请日: | 2012-12-10 |
公开(公告)号: | CN103116212A | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | 马艳;张万经 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | G02B7/182 | 分类号: | G02B7/182;G02B7/18;G03F7/20 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 吴林松 |
地址: | 200092 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种二维冷却光学棱镜架,包括:五棱镜,第一反射镜,第二反射镜,第三反射镜,所述三个反射镜分别粘合在五棱镜上且反射面延伸出同侧棱镜外,粘合面为五棱镜使用中光线反射的两个面,以及光线透射的两个面中任意一个面。该原子束二维冷却光学棱镜架具有以下优点:1.能实现原子束的二维冷却准直,为二维原子光刻提供了高准直性的原子源;2.保证了与现有实验装置的兼容性和高度的集成性,无需对真空室进行改造,节约了成本;3.具有扩展性,可为二维原子光刻提供一种实现手段。 | ||
搜索关键词: | 一种 原子 二维 冷却 光学 棱镜 | ||
【主权项】:
一种二维冷却光学棱镜架,其特征在于:包括:五棱镜,第一反射镜,第二反射镜,第三反射镜,所述三个反射镜分别粘合在五棱镜上且反射面延伸出同侧棱镜外,粘合面为五棱镜使用中光线反射的两个面,以及光线透射的两个面中任意一个面。
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