[发明专利]一种高精度微流红外气体传感器及其测量方法

摘要

本发明提供一种高精度微流红外气体传感器及其测量方法，该高精度微流红外气体传感器包括红外光源系统、测量气室、红外半导体探测器、窄带滤光片、微流红外探测器、信号处理及输出系统，测量气室上同侧设有气体入口、气体出口，另一侧设有一通道，红外半导体探测器安装在此通道内；该传感器的测量方法包括将红外半导体探测器作为参考通道，将微流红外探测器作为测量通道，将参考通道获取的参考信号对测量通道获取的测量信号进行修正，得到修正信号，信号处理及输出系统根据信号与气体浓度的换算公式进行处理运算后输出测量气体的浓度值。本发明结构简单，制造成本低，能提高微流红外气体传感器的测量精度和长期稳定性。

主权项

一种高精度微流红外气体传感器，包括红外光源系统、测量气室、红外半导体探测器、窄带滤光片、微流红外探测器、信号处理及输出系统，红外光源系统、微流探测器分别位于测量气室的两端，窄带滤光片位于测量气室与微流探测器之间，其特征在于测量气室上与气体入口、气体出口相对的一侧设有一通道，红外半导体探测器安装在此通道内，微流探测器、红外半导体探测器分别与信号处理及输出系统的信号前置放大电路输入端相连。