[发明专利]一种用于离子注入机的宽束离子源装置

摘要

本发明公开了一种用于离子注入机的宽束离子源装置，包括源磁场铁芯、源磁场线圈、弧室和引出电极，弧室的一端设有第一灯丝和第一阴极，弧室的另一端设有第二灯丝和第二阴极，第一灯丝和第二灯丝分别连接灯丝电源，第一灯丝和第一阴极之间连接第一偏置电源，第二灯丝和第二阴极之间连接第二偏置电源，第一阴极与弧室之间连接第一弧压电源，第二阴极与弧室之间连接第二弧压电源。由于弧室采用了双灯丝、双阴极的双间热式阴极结构，使气体介质与阴极发射出的热电子充分发生碰撞，能够产生较宽的离子束以及较强的束流强度，所以可以方便地扩大离子束宽度，直接获得覆盖目标注入硅片宽度的平行宽带束流。

主权项

一种用于离子注入机的宽束离子源装置，包括源磁场铁芯、缠绕在所述源磁场铁芯上的源磁场线圈、弧室和引出电极，所述弧室的底部设有送气孔，所述弧室的顶部设有引出缝，所述引出电极设于所述引出缝外，其特征在于，所述弧室的一端设有第一灯丝和第一阴极，所述弧室的另一端设有第二灯丝和第二阴极，所述第一灯丝和第二灯丝分别连接灯丝电源，所述第一灯丝和第一阴极之间连接第一偏置电源，所述第二灯丝和第二阴极之间连接第二偏置电源，所述第一阴极与弧室之间连接第一弧压电源，所述第二阴极与弧室之间连接第二弧压电源。