[发明专利]四氧化三铁与钛酸铋掺镧复合磁电薄膜的制备方法

摘要

本发明是一种四氧化三铁与钛酸铋掺镧复合磁电薄膜的制备方法，通过将具有铁电性的薄膜钛酸铋掺镧与具有铁磁性的薄膜四氧化三铁有效合成，从而制备出多铁性磁电复合薄膜材料，具体步骤是：1.制备Fe2O3和Bi3.25La0.75Ti3O12(BLT)靶材，2.采用脉冲激光溅射沉积系统在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Fe3O4/BLT多铁性磁电复合薄膜。该Fe3O4/BLT多铁性磁电复合薄膜材料，填补了Fe3O4与BLT复合成多铁性磁电复合材料的空白，扩充了磁电复合薄膜材料的研究范围。

主权项

一种四氧化三铁与钛酸铋掺镧复合磁电薄膜的制备方法，其特征在于该方法包括以下步骤：步骤1：Bi3.25La0.75Ti3O12(BLT)靶材的制备a).配料：反应物原料是Bi2O3,La2O3，TiO2；三种原材料按(13.5‑14.5):3:24的摩尔比混合，b).将混合的反应物原料放入玛瑙罐中加入丙酮放入球磨罐中，加入玛瑙球，密封固定于球磨机上，球磨时间在15h以上，研磨时间越长，BLT粉末越细，效果越好；c).用粉末压片机将研磨好的反应物原料压片成形，直径10‑20mm；d).预烧：将压片成形的块体放到箱式炉中，升温至750‑850℃,保温4‑6h,然后再快速升温至850‑950℃，保温3‑5h，自然冷却降至室温，使之初步成相；e).烧结：再将经过步骤d）处理的靶材在1000‑1100℃,保温1.5‑2.5h，再缓慢降至室温；步骤2：Fe2O3靶材的制备将晶胞结构为α的Fe2O3粉末研磨，再用粉末压片机压片，压成直径为10‑20mm，然后烧结而成，烧结温度为800‑1000℃，保温16‑24h；步骤3：制备Fe3O4/BLT磁电复合薄膜材料采用脉冲激光溅射沉积系统在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Fe3O4/BLT多铁性磁电复合薄膜。