[发明专利]一种紫外真零级波片及其制作方法

摘要

本发明涉及一种紫外真零级波片及其制作方法，波片传统制作方法是将切成圆片后的石英晶体片抛光研磨，研磨至光波所需要达到的厚度。光波所要求达到的厚度一般都是非常微小，波片在研磨过程中非常容易破裂，并且做到紫外线波段所能达到的厚度难度非常大，而本发明在石英晶体圆片上光胶有融石英圆环，起到支撑的效果，使紫外波段的波片在制作过程中不易破裂，成品良率大大提高，改良激光波片，改善激光设备，推动医疗事业进步。

主权项

一种紫外真零级波片的制作方法，其特征在于，按以下步骤进行：（1）材料选择：圆环材料选用光学级的融石英，紫外线波段200nm到350nm透过率大于90%，圆片材料选用光学级的石英晶体，紫外线波段200nm到350nm透过率大于90%；（2）融石英材料切成长条状；（3）将长条状的融石英滚成圆棒状，其中圆棒直径为24~26mm；（4）将圆棒状的融石英切成圆片，其中圆片的厚度为1.1~1.3mm；（5）将圆片状的融石英中央钻孔，形成圆环状；（6）圆环状的融石英抛光加工：选用直径220mm的抛光基板，在抛光基板上放置40~50片融石英圆环，点胶上盘，先用400目的绿砂研磨2个小时，去除砂眼，然后高速抛光1小时，拉亮整个面，最后用沥青盘抛光3小时，抛光面要求面型达到0.25个光圈，光洁度达到20/10，完工后下盘清洗，再上盘将反面抛光加工，达到正面的效果，并且两面的平行度要求小于1秒；（7）石英晶体材料切成长条状；（8）将长条状的石英晶体滚成圆棒状，其直径与融石英圆环一致；（9）将圆棒状的石英晶体在光轴垂直的方向上磨一个2~3mm长的平台；（10）将圆棒状的石英晶体切成圆片，圆片厚度为1.1~1.3mm；（11）石英晶体圆片抛光加工：选用直径220mm的抛光基板，在基板上放置40~50片石英晶体圆片，点胶上盘，先用400目的绿砂研磨2个小时，去除砂眼，然后高速抛光1小时，拉亮整个端面，最后用沥青盘抛光3小时，抛光面要求面型达到0.25个光圈，光洁度达到20/10， 完工后下盘清洗，再上盘把反面抛光加工，达到正面的效果，并且两面的平行度要求小于1秒；（12）石英晶体圆片镀膜：石英晶体圆片一面镀上200~250nm厚的二氧化硅；（13）将镀有二氧化硅的石英晶体圆片与融石英圆环光胶；（14）将光胶好的波片组合体放置压力炉中深化，烘烤60~100个小时；（15）将组合体中的石英晶体面研磨抛光，使石英晶体圆片厚度为0.009~0.018mm；（16）波片镀减反膜：将波片组合体双面镀上紫外线波长的减反膜，要求减反率小于0.2%。