[发明专利]一种LED衬底材料生长的控制系统有效
| 申请号： | 201210533302.6 | 申请日： | 2012-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN102995112A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 徐永亮;汪海波;廖德元;邓鹏飞 | 申请（专利权）人： | 上海昀丰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种LED衬底材料生长的控制系统，包括：主系统、籽晶旋转分系统、籽晶升降分系统、电源控制分系统、晶体成像分系统以及晶体称重系统，其中，所述主系统包括：可编程逻辑控制器、开关量输入模块、开关量输出模块、模数转换模块、数模转换模块、串口通讯模块、第一计数模块以及第二计数模块。其中，分系统通过各个模块与主系统相连，有效的解决了现有技术中由于晶体生长炉中各个子系统不能集成而导致的控制繁琐、成本高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 衬底 材料 生长 控制系统 | ||
【主权项】：
一种LED衬底材料生长的控制系统，其特征在于，包括：主系统、籽晶旋转分系统、籽晶升降分系统、电源控制分系统、晶体成像分系统以及晶体称重分系统，其中，所述主系统包括：可编程逻辑控制器、开关量输入模块、开关量输出模块、模数转换模块、数模转换模块、串口通讯模块、第一计数模块以及第二计数模块；所述籽晶旋转分系统通过所述第一计数模块与所述可编程逻辑控制器相连，所述第一计数模块用于检测所述籽晶旋转分系统中的旋转驱动器输出的脉冲个数；所述籽晶升降分系统通过所述第二计数模块与所述可编程逻辑控制器相连，所述第二计数模块用于检测所述籽晶升降分系统中的升降驱动器输出的脉冲个数；所述电源控制分系统通过所述串口通讯模块与所述可编程逻辑控制器相连，所述串口通讯模块用于与所述电源控制分系统中的电源进行数字通讯，控制和检测所述电源的状态；所述晶体成像分系统与所述可编程逻辑控制器相连，用于显示晶体的生长图像；所述晶体称重分系统通过所述模数转换模块与所述可编程逻辑控制器相连，所述模数转换模块用于将所述晶体称重分系统输出的模拟量转化为0‑4000或0‑16000之间的数字量；所述开关量输入模块与所述可编程逻辑控制器相连，用于采集外界输入的开关量；所述开关量输出模块与所述可编程逻辑控制器相连，用于输出控制的开关量；所述数模转换模块与所述可编程逻辑控制器相连，用于将数字量转化成控制外接设备的模拟量。
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