[发明专利]用于递送汽化源材料的装置有效
申请号: | 201210534049.6 | 申请日: | 2005-06-01 |
公开(公告)号: | CN103031542A | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 约翰·格雷格;斯科特·巴特尔;杰弗里·I·邦东;唐·奈托;拉维·K·拉克斯曼 | 申请(专利权)人: | 高级技术材料公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 李丙林;张英 |
地址: | 美国康*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及用于递送汽化源材料的装置,所述装置包括:容器,具有由一个或多个容器侧壁限定的内部区域;多个通道,其中所述多个通道包括入口和出口,所述入口被设置用于将载气引入所述容器中,所述出口被设置用于从所述容器递送气体;管,从所述多个通道之一延伸至末端;一个或多个支撑物,连接至所述管并位于所述多个通道的入口和出口之间,其中所述一个或多个支撑物具有表面,所述表面被设置为支撑源材料并具有周边以及多个延伸通过所述表面的通路,其中所述一个或多个支撑物与所述内部区域的一个或多个容器侧壁热接触。 | ||
搜索关键词: | 用于 递送 汽化 材料 装置 | ||
【主权项】:
一种用于递送汽化源材料的装置,所述装置包括:容器,具有由一个或多个容器侧壁限定的内部区域;多个通道,其中所述多个通道包括入口和出口,所述入口被设置用于将载气引入所述容器中,所述出口被设置用于从所述容器递送气体;管,从所述多个通道之一延伸至末端;一个或多个支撑物,连接至所述管并位于所述多个通道的入口和出口之间,其中所述一个或多个支撑物具有表面,所述表面被设置为支撑源材料并具有周边以及多个延伸通过所述表面的通路,其中所述一个或多个支撑物与所述内部区域的一个或多个容器侧壁热接触。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的