[发明专利]用于递送汽化源材料的装置

摘要

本发明涉及用于递送汽化源材料的装置，所述装置包括：容器，具有由一个或多个容器侧壁限定的内部区域；多个通道，其中所述多个通道包括入口和出口，所述入口被设置用于将载气引入所述容器中，所述出口被设置用于从所述容器递送气体；管，从所述多个通道之一延伸至末端；一个或多个支撑物，连接至所述管并位于所述多个通道的入口和出口之间，其中所述一个或多个支撑物具有表面，所述表面被设置为支撑源材料并具有周边以及多个延伸通过所述表面的通路，其中所述一个或多个支撑物与所述内部区域的一个或多个容器侧壁热接触。

主权项

一种用于递送汽化源材料的装置，所述装置包括：容器，具有由一个或多个容器侧壁限定的内部区域；多个通道，其中所述多个通道包括入口和出口，所述入口被设置用于将载气引入所述容器中，所述出口被设置用于从所述容器递送气体；管，从所述多个通道之一延伸至末端；一个或多个支撑物，连接至所述管并位于所述多个通道的入口和出口之间，其中所述一个或多个支撑物具有表面，所述表面被设置为支撑源材料并具有周边以及多个延伸通过所述表面的通路，其中所述一个或多个支撑物与所述内部区域的一个或多个容器侧壁热接触。