[发明专利]脉冲激光脆性材料微加工方法及系统无效
| 申请号： | 201210534833.7 | 申请日： | 2012-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN103008882A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 龙芋宏;廖友军;余金伟;江威 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学;湖南铁路科技职业技术学院 |
| 主分类号： | B23K26/14 | 分类号： | B23K26/14;B23K26/42;B28D5/00 |
| 代理公司： | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 | 代理人： | 欧阳波 |
| 地址： | 541004 广*** | 国省代码： | 广西;45 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明为脉冲激光脆性材料微加工方法及系统，本方法为脉冲激光聚焦于处在水中的脆性材料工件表面进行微加工，激光脉冲频率大于2Hz，功率密度为GW/cm2量级，脉宽为20～50ns。脆性材料为硅、砷化镓、玻璃。本系统激光控制单元控制的脉冲激光器输出的激光束经反射镜、聚焦透镜聚焦于容器内水中的工件表面；容器固定于可二维平动的工作台上，脉冲激光频率大于2Hz，功率密度为GW/cm2量级。微量泵进水口接入水池，出水口接入容器。计算机连接控制的X轴和Y轴伺服电机驱动工作台进行二维平动。本发明提供了水中脉冲激光对脆性材料进行大深宽比微加工的新方法和系统，深宽比可达3。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 激光 脆性 材料 加工 方法 系统 | ||
【主权项】：
脉冲激光脆性材料加工方法，激光聚焦于处在水中的脆性材料工件表面进行微加工，所述激光脉冲频率大于或等于2Hz的脉冲激光，所述脉冲激光功率密度为GW/cm2量级，所述水为蒸馏水，所述脆性材料为硅、或砷化镓、或玻璃。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于桂林电子科技大学;湖南铁路科技职业技术学院，未经桂林电子科技大学;湖南铁路科技职业技术学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210534833.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带USB集线器的散热型笔记本电脑
- 下一篇：钵苗插秧机上的旋转种植爪
