[发明专利]吸引夹持器及移载装置

摘要

提供一种不管排气孔的位置如何都使空气顺畅地流动、消除了推斥力的不平衡的吸引夹持器。吸引夹持器（10）具备平板状的主体（11）、相对面（31）、多个空气喷出口（41）和多个排气孔（42）。在主体（11）的内部形成压缩空气的流路。相对面（31）为主体（11）的与工件相对一侧的面。空气喷出口（41）为了喷出从流路提供的压缩空气而开口在相对面（31）上。排气孔（42）在空气喷出口（41）的周围开口在相对面（31）上，并且在厚度方向上贯穿主体（11）地形成。各空气喷出口（41）形成为圆柱状的空间，并且具备3个探到该空间内部而开口的喷嘴流路（44），各喷嘴流路（44）朝沿着上述圆柱状的空间的内壁的方向喷出压缩气体。

主权项

一种吸引夹持器，吸引、并以非接触状态保持薄的平板状的工件，其特征在于，具备：在内部形成有压缩气体的流路的平板状的主体；作为上述主体的与上述工件相对的一侧的面的相对面；为了喷出从上述流路提供的压缩气体而开口在上述相对面上的多个喷出口；以及，在上述喷出口的周围开口在上述相对面上、并且在厚度方向上贯穿上述主体地形成的多个排气孔；各喷出口被形成为圆柱状的空间，并且具备3个探到该空间的内部而开口的喷嘴流路，各喷嘴流路朝沿着上述圆柱状的空间的内壁的方向喷出压缩气体。