[发明专利]一种用于真空热蒸发沉积金属铝薄膜的蒸发舟无效
| 申请号： | 201210536327.1 | 申请日： | 2012-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN102978574A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 苏子生;初蓓;李文连 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于真空镀膜技术领域，涉及一种用于真空热蒸发沉积金属铝薄膜蒸发舟结构的改进，其包括：上端敞口的圆柱形蒸发坩埚；设置于所述圆柱形蒸发坩埚上端外围的圆形缓冲平台；设置于所述圆形缓冲平台外围上方的圆柱形防溢出阻挡层。与传统铝蒸发舟相比，本发明蒸发舟加入了圆形缓冲平台和顶部的圆柱形防溢出阻挡层。热沉积时，溢出的高温铝溶液将被顶部防溢出阻挡层阻挡并在圆形缓冲平台冷却，从而防止铝溶液与金属加热体相浸润形成合金，进而对金属加热体造成破坏。本发明蒸发舟可显著延长金属加热体的使用寿命，从而降低金属加热体的更换频率，提高生产节拍，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 蒸发 沉积 金属 薄膜 | ||
【主权项】：
一种用于真空热蒸发沉积金属铝薄膜的蒸发舟，包括：上端敞口的圆柱形蒸发坩埚（11）；其特征在于，该蒸发舟还包括：设置于所述圆柱形蒸发坩埚（11）上端外围的圆形缓冲平台（12）；设置于所述圆形缓冲平台（12）外围上方的圆柱形防溢出阻挡层（13）。
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