[发明专利]图像传感器器件和方法有效

专利信息
申请号: 201210536910.2 申请日: 2012-12-12
公开(公告)号: CN103378112A 公开(公告)日: 2013-10-30
发明(设计)人: 林政贤;杨敦年;刘人诚;洪丰基;蔡双吉 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;孙征
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 提供了减少光敏二极管之间的串扰的系统和方法。在实施例中,第一滤色器在第一光敏二极管上方形成而第二滤色器在第二光敏二极管上方形成,间隙在第一滤色器和第二滤色器之间形成。间隙将起到反射光的作用,否则光将从第一滤色器跨越到第二滤色器,从而减少第一光敏二极管和第二光敏二极管之间的串扰。也可以在第一光敏二极管和第二光敏二极管之间形成反射栅格以协助反射并进一步减少串扰量。本发明还提供了图像传感器器件和方法。
搜索关键词: 图像传感器 器件 方法
【主权项】:
一种半导体器件,包括:图像传感器,包括位于衬底中的第一像素区和第二像素区,所述第一像素区毗邻所述第二像素区;第一滤色器,位于所述第一像素区上方;第二滤色器,位于所述第二像素区上方;以及间隙,位于所述第一滤色器和所述第二滤色器之间。
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