[发明专利]一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗无效
| 申请号： | 201210538722.3 | 申请日： | 2012-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN102978712A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 滑喜宝 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;F27D21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215212 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗，包括观察窗镜片，法兰盘，密封圈，观察窗通水管道，观察窗通气管道，进气口，观察窗保护挡片和观察窗挡片旋动装置，其特征在于，所述观察窗使用水气复合冷却。此种观察窗设计可以使得蓝宝石晶体生长炉观察窗持续使用48-96h以上，大大降低了晶体生长炉因观察窗污染而使得操作者无法操作的故障率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水气 复合 冷却 蓝宝石 晶体生长 观察窗 | ||
【主权项】：
一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗，包括观察窗镜片，法兰盘，密封圈，观察窗通水管道，观察窗通气管道，进气口，观察窗保护挡片和观察窗挡片旋动装置，其特征在于，所述观察窗使用水气复合冷却。
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