[发明专利]PECVD镀膜装置及其射频电源与真空腔体的连接装置

摘要

本发明公开一种PECVD镀膜装置，包括真空腔体和射频电源，真空腔体与射频电源之间设置连接装置，连接装置拆卸式固定在真空腔体外部，连接装置包括屏蔽套，在屏蔽套内设置绝缘套，绝缘套内设置引入电极，引入电极的一端伸入到真空腔体内，另一端与射频电源输出端连接的匹配器的匹配器入口接头可拆卸式连接。通过将连接装置设置在真空腔体外部，使得连接装置拆装方便，连接可靠，使引入电极与匹配器入口接头的接头设置在绝缘套和屏蔽套的内部密封腔体内，使得整个连接装置的绝缘和屏蔽效果好，无辐射污染，射频电源的传输过程中没有损失，进而电源输入稳定，提高膜层沉积的质量。

主权项

一种PECVD镀膜装置，包括真空腔体和射频电源，其特征在于，所述真空腔体与所述射频电源之间设置连接装置，所述连接装置拆卸式固定在所述真空腔体外部，所述连接装置包括屏蔽套，在所述屏蔽套内设置绝缘套，所述绝缘套内设置引入电极，所述引入电极的一端伸入到所述真空腔体内，另一端与所述射频电源输出端连接的匹配器的匹配器入口接头可拆卸式连接。